Lämmastiktrifluoriid (NF3) kõrge puhtusastmega gaas
Põhiteave
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Mis see materjal on?
Lämmastiktrifluoriid (NF3) on toatemperatuuril ja atmosfäärirõhul värvitu ja lõhnatu gaas. Seda saab veeldada mõõduka rõhu all. NF3 on tavatingimustes stabiilne ja ei lagune kergesti. Siiski võib see kõrgete temperatuuride või teatud katalüsaatorite juuresolekul laguneda. NF3-l on atmosfääri sattudes kõrge globaalse soojenemise potentsiaal (GWP).
Kus seda materjali kasutada?
Puhastusvahend elektroonikatööstuses: NF3 kasutatakse laialdaselt puhastusvahendina jääk-saasteainete, näiteks oksiidide eemaldamiseks pooljuhtide, plasmakuvarite (PDP) ja muude elektroonikakomponentide pindadelt. See võib neid pindu tõhusalt puhastada neid kahjustamata.
Söövitusgaas pooljuhtide valmistamisel: NF3 kasutatakse pooljuhtide tootmisprotsessis söövitusgaasina. See on eriti tõhus ränidioksiidi (SiO2) ja räninitriidi (Si3N4) söövitamisel, mis on integraallülituste valmistamisel tavalised materjalid.
Kõrge puhtusastmega fluoriühendite tootmine: NF3 on väärtuslik fluoriallikas erinevate fluori sisaldavate ühendite tootmiseks. Seda kasutatakse lähteainena fluoropolümeeride, fluorosüsivesinike ja erikemikaalide tootmisel.
Plasma genereerimine lameekraanekraanide tootmisel: NF3 kasutatakse koos teiste gaasidega plasma loomiseks lameekraanide, näiteks vedelkristallkuvarite (LCD-de) ja PDP-de tootmisel. Plasma on paneeli valmistamise ajal sadestamise ja söövitamise protsessides oluline.
Pidage meeles, et selle materjali/toote kasutamise konkreetsed rakendused ja eeskirjad võivad riigiti, tööstusharude ja eesmärkide lõikes erineda. Enne selle materjali/toote kasutamist mis tahes rakenduses järgige alati ohutusjuhiseid ja konsulteerige spetsialistiga.
