Süsiniktetrafluoriid (CF4) kõrge puhtusastmega gaas
Põhiteave
| CAS | 75-73-0 |
| EC | 200-896-5 |
| UN | 1982. aastal |
Mis see materjal on?
Süsiniktetrafluoriid on standardtemperatuuril ja -rõhul värvitu lõhnatu gaas. See on tugevate süsinik-fluori sidemete tõttu keemiliselt väga inertne. See muudab selle tavatingimustes enamlevinud ainetega mittereageerivaks. CF4 on tugev kasvuhoonegaas, mis aitab kaasa globaalsele soojenemisele.
Kus seda materjali kasutada?
1. Pooljuhtide tootmine: CF4 kasutatakse laialdaselt elektroonikatööstuses plasmasöövitamise ja keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessides. See aitab räniplaatide ja muude pooljuhtseadmetes kasutatavate materjalide täppissöövitamisel. Selle keemiline inertsus on nende protsesside käigus soovimatute reaktsioonide ärahoidmisel ülioluline.
2. Dielektriline gaas: CF4 kasutatakse dielektrilise gaasina kõrgepinge elektriseadmetes ja gaasiisolatsiooniga jaotusseadmetes (GIS). Selle kõrge dielektriline tugevus ja suurepärased elektriisolatsiooniomadused muudavad selle nendes rakendustes kasutamiseks sobivaks.
3. Külmutus: CF4 on kasutatud külmutusagensina mõnedes madala temperatuuriga rakendustes, kuigi selle kasutamine on vähenenud keskkonnaprobleemide tõttu selle kõrge globaalse soojenemise potentsiaali tõttu.
4. Märgistusgaas: seda saab kasutada märgistusgaasina lekke tuvastamise protsessides, eriti lekete tuvastamiseks kõrgvaakumsüsteemides ja tööstusseadmetes.
5. Kalibreerimisgaas: CF4 kasutatakse kalibreerimisgaasina gaasianalüsaatorites ja gaasidetektorites tänu selle teadaolevatele ja stabiilsetele omadustele.
6. Teadus- ja arendustegevus: seda kasutatakse laboriuuringutes ja arendustegevuses erinevatel eesmärkidel, sealhulgas materjaliteaduse, keemia ja füüsika katsed.
Pidage meeles, et selle materjali/toote kasutamise konkreetsed rakendused ja eeskirjad võivad riigiti, tööstusharude ja eesmärkide lõikes erineda. Enne selle materjali/toote kasutamist mis tahes rakenduses järgige alati ohutusjuhiseid ja konsulteerige spetsialistiga.
